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標題3D顯微掃描儀

產品諮詢表單

標題敘述:

功能應用
深度3D檢測
高速非接觸光學量測
表面形貌分析
光學表面粗糙度量測

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標題量測實例 :

觸控面板、太陽能板、半導體晶圓、微機電元件、PCB、IC封裝
多種量測功能;微結構輪廓、孔穴深度、段差膜厚、高度差、角度、粗糙度、平整度分析

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標題3D白光干涉儀-微米級

 

標題3D白光干涉儀-奈米級

3D白光干涉儀-微米級   3D白光干涉儀-奈米級
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標題產品特點:

●人工放置待測物,機台自動跑位、量測與報表輸出
●花崗岩底座搭配氣浮式防震桌,有效隔離高頻振動
●高精度移動馬達
標題軟體特點:

●掃描精度
-大範圍微米掃描
●自動對焦
-焦平面自動尋找,減少人工找尋的時間
●自動量測方法
-面平均粗糙度、區域框選粗糙度、高度差、平整化‧‧‧等
●自動量測與報表輸出
-客製化建立量測流程,減少人力操作成本,適合批量產品精密檢測
-量測總表自動輸出,將量測結果統整並輸出,以利批量產品分析比對
●後處理分析
-輪廓尺寸
-高度量測
-區域粗糙度量測
-3D輪廓模型
●圖像拼接
-大視野圖像拼接分析表面輪廓
-高精度縫圖,確保穩定量測數據

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3D顯微掃描儀_軟體介面_自動機型
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3D顯微掃描儀_軟體檢測範例
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3D白光干涉儀-微米級

型號:

CSP-3020W

CSP-M3020W

操作形式

微米級-自動

微米級-手動

外型尺寸

610*960*1670mm

620*950*1650mm

包裝尺寸

960*1200*1935mm

960*1200*1935mm

載物台行程
X/Y/Z

300*200*150mm

300*200*150mm

工作臺尺寸

550*400mm

550*330mm

乘載重量

≦30KG

≦30KG

儀器重量

500KG

500KG

本體基座

花崗石

花崗石

電壓

AC110-240V 50/60Hz

AC110-240V 50/60Hz

運動控制系統規格

傳動系統

馬達傳動

螺桿傳動

最大移動速度
XY

200(mm/s)

手動

光學尺解析度
X/Y/Z

0.5/0.5/1(um)

0.5/0.5/0.5

3D白光干涉儀-奈米級

型號:

AE-150M

移動台

150*150mm / 行程13*13mm

干涉物鏡倍率
(選配)

10X

20X

50X

FOV視野範圍

0.43*0.32mm

0.21*0.16mm

0.088*0.066mm

光學解析度um

1.12

0.84

0.61

收光角度

17

23

33

工作距離

7.4mm

4.7mm

3.4mm

儀器重量

20KG

Z軸移動範圍

45mm手動微調

高度測量

量測範圍

100um(400um選配)

量測解析度

0.1nm

重複精度σ(1)

0.1%(量測高度:>10um)
10nm(量測高度:1~10um)
5nm (量測高度:>1um)

量測控制

掃描速度(um/S)

12(最高)

光源系統

光源類型

高亮度鹵素冷光光源

平均使用壽命

100W:1000小時
150W:500小時

光源調整

手動/自動

電源

AC110-240V 50/60Hz

震動環境

VC-C等級以上

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