大行程台面顯微鏡，全電動鏡頭切換、電動光圈
照明觀察有穿透光、反射光選擇
業界唯一超廣角26.5mm視野目鏡
XY載物台帶有快速移動離合器
產品敘述
產品特點
產品規格
影片介紹
產業應用
適用於半導體晶圓檢查、玻璃面板瑕疵檢查、探針卡或IC載板觀察
觀察法搭配
各式的觀察法，可應用於不同的材料結構之分析
暗視野 微分干涉 偏光
螢光 IR 穿透光/背光
擴充搭配
另可選擇搭配晶圓傳送機進行wafer檢查
MARCO、BACK-SIDE、MICRO觀察
8/6吋晶圓全自動檢查，8/12吋晶圓全自動檢查
