WLI白光干涉儀

德國製高品質白光干涉儀

產品特點：

1、針對各種材料產品進行微結構3D表面觀察

2、微小結構Z軸3D PROFILE量測

3、非接觸式的粗糙度量測

4、可測定不同反射率、透明材料之表面結構

5、Z軸解析精度1nm – 0.1nm

6、可依據產品大小，架設於專門設備機構

3D掃描原理

白光干涉White Light Interferometry：

將特定波長光源，透過平、凸面鏡(DI物鏡)

透過物體的兩個反射產生”牛頓環”(亦為干涉條紋)。

其Z軸上下限範圍掃描定義原理

以干涉條紋的產生為焦距判斷值

可裝載搭配不同倍率的干涉物鏡

白光干涉頭部可裝載於不同機構

與機台連線進行各種分析與測定

可搭配原廠電動載物台(選配)

另可選購主動式防震台、

氣浮式防震台、防震阻尼平台

形貌3D測定功能：

可進行粗糙度、平面度之分析測定

Roughness parameter Rz

粗糙度國際規範: DIN 4762/1E, ISO/DIS 4287/1

Waviness parameter Wt

平面度國際規範：Standard: DIN 4774 

粗糙度報表格式，可依需求輸出設定

3D圖、2D平面、粗度圖形