1、高定位精度機種,結合AOI搜尋功能,補償XY位移誤差
2、搭載金相物鏡,5X、10X、20X、50X、100X
3、微小Z軸的高度量測
4、適用於IC錫球、金線量測
5、Z軸重複精度±0.5um(500X)
6、高精度、量測速度快;例:IC載板一片68pcs,量測時間10-14分
1、高定位精度機種,結合AOI搜尋功能,補償XY位移誤差
2、搭載金相物鏡,5X、10X、20X、50X、100X
3、微小Z軸的高度量測
4、適用於IC錫球、金線量測
5、Z軸重複精度±0.5um(500X)
6、高精度、量測速度快;例:IC載板一片68pcs,量測時間10-14分
產業應用:
IC bonding金球、金線高度與厚度量測
IC載板全自動量測
LED mounting 於導線架之尺寸量測
各種微小結構之全自動量測應用
產品優勢:
高速自動對焦自動量測尺寸,無須人員判定
具備AOI辨識功能,工件偏擺誤差可自動搜尋量測位置
全自動影像量測過程不間斷,持續完成工作
光學模組
採用OLYMPUS全電動光學模組與物鏡
最大光學總被率可達1000X
最小分辨率可達0.37um
IC BONDING金球厚度量測方式:
對焦得到Pad焦面座標與球頂焦面座標,兩點構造組合距離,求得球厚度之數據
IC BONDING金線弧高量測方式:
得到Pad焦面座標與弧頂焦面座標,兩者構造成球厚度
用50x物鏡沿著單一線段找最高點,並進行對焦
優秀的量測表現獲得國內多家封裝測試大廠採用
1、搭載高解析物鏡配置5X、10X、20X、50X
2、高倍率、高解析、高速量測結果
3、具AOI特徵辨識功能,修正補償移動時或工件偏擺所造成的座標誤差
4、操作簡單,軟體介面優化設定
5、全自動化概念,另可針對產品規劃入料方式
6、高精度量測Z: +/- 0.5 um、X/Y: +/- 1 um
型號 | VM5000H | |
移動範圍 | X axis | 350 mm |
Y axis | 300 mm | |
Z axis | 150 mm | |
驅動控制 | 獨立伺服馬達 | |
X/Y-axis 解析度 | 0.5 mm | |
Z-axis 解析度 | 0.1 mm | |
球大小重複精度 | ± 1 mm | |
球厚重複精度 | 0.5 mm | |
弧高重複精度 | 5 mm | |
檢測時間 | ≦90 seconds / Ball X/Y/Z*4
Stitch X/Y*4,Loop H*4 |
|
影像系統 | CCD:1/2 吋 彩色工業相機
物鏡:OLYMPUS物鏡 物鏡倍率:5X、20X、50 X 顯示放大倍率:136X – 1367X FOV: 1.2*0.9 mm2 5X 0.3*0.23mm2 20X 0.12*0.09mm2 50X |
|
光源 | LED | |
重量 | 750 kg | |
尺寸 | 1200*1300*1820 | |
功率 | 500 W (不包含電腦、顯示器) | |
操作電壓 | 220 V (單向) |