可擴充於金相或是工具顯微鏡
載物台與防震台可選配
單一鏡頭單配即可量測出形狀3D輪廓
相當經濟實惠的選擇
可擴充於金相或是工具顯微鏡
載物台與防震台可選配
單一鏡頭單配即可量測出形狀3D輪廓
相當經濟實惠的選擇
1.可在Olympus,Nikon,Leica等金相/工具顯微鏡.
鏡頭及C-mount上加裝白光干涉感測元件.升級為3D白光干涉量測儀.
2.光源:高亮度光電管505nm
3.CCD解析: 標準: 780×582 pixels,48fps (Wire Fire)/選購:1280×1024 pixels,169 fps (USB3)
4.Z軸量測範圍:100, 250, 400um 可選
5.X-Y量測面積:依鏡頭而定
6.Z軸量測精度: 依安裝干涉物鏡及量測範圍而定
5X物鏡: 1nm /10X 物鏡:1nm/ 20X物鏡:0.3nm/ 50X物鏡: 0.3nm/ 100X物鏡:0.1nm (以上是400um)
7.軟體功能:微結構輪廓,表面粗糙度,鍍層厚度
2D及3D各項尺寸及圖像顯示,報表輸出功能.
8.選購:X-Y電動平台,拼圖軟體stitching功能
9.選購:X-Y-Z 電動平台, 全自動量測功能
10.選購:主動式防震台(如圖)
主要應用於學術研究、RD、實驗室等分析使用
可將現行的顯微鏡或是工具顯微鏡進行擴充
透過軟體的分析,可獲得3D影像、微小結構高度量測、膜厚量測、光學粗糙度量測等功能
下圖為實際案例之配置
鏡頭解析度
5X物鏡: 1nm / 10X 物鏡:1nm/ 20X物鏡:0.3nm/ 50X物鏡: 0.3nm/ 100X物鏡:0.1nm
(Z軸400um掃瞄範圍)
軟體功能:微結構輪廓,表面粗糙度,鍍層厚度
2D及3D各項尺寸及圖像顯示,報表輸出功能.