8*8吋大行程移動載物台
工業級高倍顯微鏡
適合6″8″吋晶圓觀察或面板檢查
可選配穿透光或晶圓旋轉盤
8*8吋大行程移動載物台
工業級高倍顯微鏡
適合6″8″吋晶圓觀察或面板檢查
可選配穿透光或晶圓旋轉盤
特色: 無限遠光路系統,可穿透光、落射光切換打光
8*8吋大行程載物台,適合6″ 8″晶圓檢查或小尺寸面板、PCB板外觀檢查
光路各部位功能:
旋轉式(黃、綠、藍、白)四色濾片,旋轉式視場光欄、孔徑光欄,偏光拉桿、平拉式360度旋轉偏光片。
搭配無限遠光學補正物鏡,最小分辨率可達0.37um
可外接攝影機+量測軟體,進行拍照與量測,多款高解析攝影機可供選配
8*8吋XY大行程移動載物台
採用無限遠光學補正物鏡
內建多種顏色濾片,可變換不同顏色光源進行觀察
標配偏光鏡,高對比度觀察配件,可將微小結構細節解析表現出來
型號 | MX200(明視野機種) |
鏡筒 | 三眼式觀察頭(三眼同時觀看免切換) |
目鏡 | 超廣角高眼點 WF10x/FN22 |
物鏡
(明暗視野選配) |
無限遠平場消色差
MPL5x NA=0.12 WD: 26.1mm MPL10x NA=0.25 WD: 20.2mm MPL20x NA=0.40 WD: 8.8mm MPL50x NA=0.70 WD: 3.68mm 選配: MPL100x NA=0.85 WD: 0.4mm |
綜合倍率 | 50-500X (100X選配) |
光源 | 12v50w 鹵素燈落射光及穿透光可切換 |
電源 | 110V~220V |
載物台行程 | 200mm*200mm |
台面尺寸 | 240mm*240mm |