共軛焦顯微鏡+白光干涉（二合一）

德國工業技術的產品

OPM白光干涉+共軛焦(二合一機器)源自德國

產品特點：

1、兩種表面掃描模式(白光+共軛焦)

2、針對各種材料產品進行微結構3D表面觀察

3、微小結構Z軸3D PROFILE量測

4、非接觸式的粗糙度量測

5、可測定不同反射率、透明材料之表面結構

6、Z軸解析精度0.01um – 0.1nm

7、可依據產品大小，架設於專門設備機構

3D掃描原理

白光干涉White Light Interferometry：

將特定波長光源，透過平、凸面鏡(DI物鏡)

透過物體的兩個反射產生”牛頓環”(亦為干涉條紋)。

其Z軸上下限範圍掃描定義原理

以干涉條紋的產生為焦距判斷值

共軛焦Confocal Scanning：

將一特定光源，透過Pinhole光圈將非焦距內的散色光源排除

藉由此方式提升影像品質，利用反射光訊號產生的對比

來判斷Z軸焦距位置。

二合一”白光干涉+共軛焦”的優點？

低反射率→共軛焦

高反射率→白光干涉

透明材質→白光干涉

不同的材料反射率，使用在不同的掃描方式可以得到更精確的結果

依據鏡頭倍率，可測定之精度0.01um – 0.1nm

這是您為何要選擇二合一的機型。

可依需求裝載不同干涉物鏡以及共軛焦物鏡

接物鏡鼻輪最多可裝載6顆接物鏡

可進行粗糙度、平面度之分析測定

Roughness parameter Rz

粗糙度國際規範: DIN 4762/1E, ISO/DIS 4287/1

Waviness parameter Wt

平面度國際規範：Standard: DIN 4774

粗糙度報表格式，可依需求輸出設定

3D圖、2D平面、粗度圖形

實際範例