輔助檢測人員正確及快速的判別探針卡異常狀況
例如PROBE CARD針徑、針位、針水平等檢測。
擺脫傳統調針機以MYLAR對位方式進行探針卡調針
建立標準化作業流程及建立數據,協助調針及修卡工程師
快速及準確的完成作業
輔助檢測人員正確及快速的判別探針卡異常狀況
例如PROBE CARD針徑、針位、針水平等檢測。
擺脫傳統調針機以MYLAR對位方式進行探針卡調針
建立標準化作業流程及建立數據,協助調針及修卡工程師
快速及準確的完成作業
此設備最大的優勢在於輔助檢測人員在探針卡的檢修時間大大的縮減,以及穩定產品品質
程式化設定的方式,可快速的進行IQC進料檢驗,針對委外的探針卡品質進行檢測,有效提高生產效力
十卡合一的治具經過設計規格,每個定位點都有Probe card的編號,方便人員水平擺正操作
優越的軟體演算法,可準確的將mapping時的shift補正,並且快速地完成縫圖
導入位置EXCEL檔案即可精準的計算出針位、針徑及針水平
透過軟體的計算分析,量測出標準針位與實際針位的偏量,即可進行調針
採用德國製造LEICA光學顯微鏡,配置25倍目鏡,光學總倍率18-125倍
目鏡內建特殊極細十字刻畫片(3um)以利調針對準
採用TITING三眼觀察頭,可依照操作人員身高調整觀察鏡筒高度
人體工學的設計,可大大降低人員長時間調針及修卡的疲勞感
調針機檢測系統—
優越的量測結果
●設備機台採用0.1um之光學尺,高重複精度,業界最佳之量測重複性
●檢出針徑>8um、針位偏>3um
●具防撞機制,人員操作時可避免撞卡之風險
●智能調針操作,業界調針輔助最快之速度,速度可優於PRVX,較傳統調針時間節省50%以上
●自動軟體補償校正,可快速校正機台座標以達更精確之量測
●人體工學設計的機台,降低人員長時間操作之疲勞感
●特別製作十卡合一的治具,各種尺寸的探針卡都可準確的水平擺正
機構 | 花崗石基座及Z軸立柱 |
光學尺解析度 | XYZ三軸光學尺0.1um |
運動控制 | XYZ採用伺服馬達 |
XY移動行程 | 400*300mm |
量測範圍 | 針卡被動元件<50mm、針位範圍140*140mm
(可依尺寸更新) |
量測精度 | 機台重複性±1um、機台線性精度(2+L/200)um |
光學系統 | 高倍率mapping鏡頭倍率:400x
調針鏡頭倍率:目鏡25X、Zoom 0.8-6X |
分辨率 | 2048*2048 |
晶片尺寸 | 1” Global shutter |
人體工學距離 | 物鏡至量測物工作距離90mm
桌子底部至顯微鏡目鏡距離:56cm (目鏡仰角不低於水平) |